半導体・液晶用ヒーター
製品情報

製品の取り付けやアフターケアを、 現地に伺い、真摯で真剣に取り組むことが私たちの強み!

ヒーターの専⾨メーカーだからこそ実現した
多種多様のヒーターを組込んだ製品をご提案致します。

半導体・液晶用ヒーターの特徴

  • プレート材質、加工方法、温度、容量などにより当社オリジナルヒーターを選定することが可能。
    (ニクロム線タイプ、エッチング箔タイプ、シーズヒータータイプ、 カートリッジヒータータイプ、コールドエンドヒータータイプ、マイクロヒータータイプ等)
  • 各種ヒーターは電気的に絶縁されており、直接加熱が可能。
  • 各種ヒーターは振動、衝撃に優れ、発熱線が酸化されにくいために長寿命です。
  • 表面処理を行うことでガスによる耐腐食性に優れています。

半導体・液晶用ヒーターの用途

  • 半導体装置各種成膜装置用ヒーター
  • 液晶装置各種成膜装置用ヒーター
  • 各種プロセス熱源用ヒーター

熱解析による専用設計により、温度分布を均一にするためのヒーター配置をご提案いたします。

※熱解析は別途有料となります。