技術資料
1.配管長による温度変化
2-1.昇温・降温特性(CLH-0.6 CLH-0.9)
2-2.昇温・降温特性(CLH-1.8 CLH-2.7)
2-3.昇温・降温特性(CLH-3.6 CLH-4.5 )
2-4.昇温・降温特性(同一流量)
3.温度制御⽅法による違い
4. クリーンホットの間欠運転
5.クリーンホットの表面温度
6.機器接続例(CLH-4.5)